Metallic Seals

HELICOFLEX®

종래의 Seal로는 불가능한 극저온, 고온, 초고압, 고진공과 같은 극한의 사용환경에 사용되는 Seal로서 오링 내부에 들어있는 Helical Spring의 작용으로, 압력, 온도 변화에 의한 플랜지면의 변형에도 우수한 밀폐력을 갖는다. Metal Seal 중에서는 HELICOFLEX® Seal이 Ultra-Flex Seal과 함께 밀폐력, 진공도, Sealing Level이 가장 뛰어나다. 특히, 반도체, 디스플레이분야에서의 Fluorine Gas에 의한 부식 및 산화 등의 문제에 대한 해결 솔루션을 제공하고 있다.

Metallic Seals

U-Tight Seal

U-TIGHTSEAL®은 탄성 코어(코일·스프링)를 내장 하는 메탈 가스켓(gasket)입니다.
금속재이면서, 그 뛰어난 압축·복원 특성에 의해, 고무소재 (elastomer) 같은 성질을 발휘 합니다. 형상은 원형단면의 링 모양을 띄며, 구조는 중심부에 밀접하게 감은 탄성 코어가 있고, 이것을 덮는 1층~2층의 피복으로 구성되어 있습니다. 외측의 피복은, 다루기 용이한 연성이 있는 금속으로 이루어져 있고, 2층의 경우 안쪽 피복은, 비교적 단단한 재료의 금속이 이용되고 있습니다.

Gasket

Copper Gasket

OFCU (산소 프리 고전도) 구리는 두 개의 콘플레이트 플랜지 사이에서 UHV를 밀봉하기 위해 개스킷을 제조하는 데 사용됩니다. 순도는 99.97% 이상이고 경도는 60-80HV이며, 깨끗하고 형상이 용이하며, 온도 범위가 넓고, 가스 방출율이 낮습니다.

Vacuum Product

Gate valve

진공챔버 내부와 외부를 전기적으로 접속하기 위한 단자입니다.
세라믹과 금속의 접합봉착기술을 이용하고 있으며, 고 기밀성을 가집니다.

Stage

Stage

고정밀 스테이지는 대기, 고진공 및 초고진공 등의 환경에서 이상적인 적합성을 보임과 동시에 정확성과 내구성을 겸비한 포지션 장비입니다.
진공시의 핵심은 낮은 아웃개싱(Outgasing)을 가지는 소재,플라스틱,윤활유,구성요소 등의 적절한 선택에 있는데, 알루미늄 스테인리스 스틸 등으로 구성 소재를 제한하고 있습니다.

싱크로트론 방사선조사, 반도체 리소그래피 및 우주개발용 어플리케이션을 위한 맞춤형 진공호환 솔루션을 개발하였으며,초고진공에서 무오일(Oil-Free) 윤활 뿐만 아니라 고정밀 선형(linear) 및 앵글(angular) 인코더를 제공합니다. 제품은 포지션용 스테이지와 진공용 스테이지로 구분됩니다

DCM

Single Cam DCM

주 회전축을 제2결정의 표면면과 일치시킵니다. 주축을 중심으로 테이블이 단순 회전하여 발생하는 입사빔에 대한 제1결정 위치의 이동은 캠에 의해 유도되는 제1결정의 수직 운동에 의해 보정됩니다.