모션하이테크

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DCM

Single Cam DCM

주 회전축을 제2결정의 표면면과 일치시킵니다. 주축을 중심으로 테이블이 단순 회전하여 발생하는 입사빔에 대한 제1결정 위치의 이동은 캠에 의해 유도되는 제1결정의 수직 운동에 의해 보정됩니다.

SPECS

○ 자세제어

* The first crystal alignment stages

Y1 : -5 to 240 mmZc1 : -17.26 to -12.5 mmD1(Z1) : ±10 mmφ1 : ±1 degreeθ1 : ±1 degree (Coarse) : ±50 arcsec (Fine)

* The second crystal alignment stagesD2(Z2) : ±10mmφ2 : 1 degreeθ2 : ±1 degree (Coarse)