Stage

Stage

• 고정밀 스테이지는 대기, 고진공 및 초고진공 등의 환경에서 이상적인 적합성을 보임과 동시에 정확성과 내구성을 겸비한 포지션 장비입니다.
• 진공시의 핵심은 낮은 아웃개싱(Outgasing)을 가지는 소재,플라스틱,윤활유,구성요소 등의 적절한 선택에 있는데, 알루미늄 스테인리스 스틸 등으로 구성 소재를 제한하고 있습니다.
• 싱크로트론 방사선조사, 반도체 리소그래피 및 우주개발용 어플리케이션을 위한 맞춤형 진공호환 솔루션을 개발하였으며,초고진공에서 무오일(Oil-Free) 윤활 뿐만 아니라 고정밀 선형(linear) 및 앵글(angular) 인코더를 제공합니다. 제품은 포지션용 스테이지와 진공용 스테이지로 구분됩니다