Atom Scattering Spectroscopy

TOFLAS-3000

원자산란 표면분석장치(Atomic Spawning Surface Analysis Equipment)인 TOFLAS®-3000은 이온산란 분광법 (CAICISS)의 측정원리를 응용하여, 입사 프로브 (Probe)에 이온이 아닌 원자빔을 이용한 장치로서 금속, 반도체, 절연체 시료 표면 혹은 박막성장과정에서 바로 원소 분석과 구조해석이 동시에 가능합니다.

Target

Sputtering Target

TFT용도로 사용되는 IGZO(InGaZnOx) 등의 금속산화물 반도체를 비롯하여 WIDE BAND GAP 재료, RRAM 재료 등의 고품질 투명전도막 재료 (TCO:transparent conductive oxides materials)를 제공하고 있습니다.