Stage

Stage

고정밀 스테이지는 대기, 고진공 및 초고진공 등의 환경에서 이상적인 적합성을 보임과 동시에 정확성과 내구성을 겸비한 포지션 장비입니다.
진공시의 핵심은 낮은 아웃개싱(Outgasing)을 가지는 소재,플라스틱,윤활유,구성요소 등의 적절한 선택에 있는데, 알루미늄 스테인리스 스틸 등으로 구성 소재를 제한하고 있습니다.

싱크로트론 방사선조사, 반도체 리소그래피 및 우주개발용 어플리케이션을 위한 맞춤형 진공호환 솔루션을 개발하였으며,초고진공에서 무오일(Oil-Free) 윤활 뿐만 아니라 고정밀 선형(linear) 및 앵글(angular) 인코더를 제공합니다. 제품은 포지션용 스테이지와 진공용 스테이지로 구분됩니다

DCM

Single Cam DCM

주 회전축을 제2결정의 표면면과 일치시킵니다. 주축을 중심으로 테이블이 단순 회전하여 발생하는 입사빔에 대한 제1결정 위치의 이동은 캠에 의해 유도되는 제1결정의 수직 운동에 의해 보정됩니다.