Metallic Seals

HELICOFLEX®

종래의 Seal로는 불가능한 극저온, 고온, 초고압, 고진공과 같은 극한의 사용환경에 사용되는 Seal로서 오링 내부에 들어있는 Helical Spring의 작용으로, 압력, 온도 변화에 의한 플랜지면의 변형에도 우수한 밀폐력을 갖는다. Metal Seal 중에서는 HELICOFLEX® Seal이 Ultra-Flex Seal과 함께 밀폐력, 진공도, Sealing Level이 가장 뛰어나다. 특히, 반도체, 디스플레이분야에서의 Fluorine Gas에 의한 부식 및 산화 등의 문제에 대한 해결 솔루션을 제공하고 있다.

Metallic Seals

U-Tight Seal

U-TIGHTSEAL®은 탄성 코어(코일·스프링)를 내장 하는 메탈 가스켓(gasket)입니다.
금속재이면서, 그 뛰어난 압축·복원 특성에 의해, 고무소재 (elastomer) 같은 성질을 발휘 합니다. 형상은 원형단면의 링 모양을 띄며, 구조는 중심부에 밀접하게 감은 탄성 코어가 있고, 이것을 덮는 1층~2층의 피복으로 구성되어 있습니다. 외측의 피복은, 다루기 용이한 연성이 있는 금속으로 이루어져 있고, 2층의 경우 안쪽 피복은, 비교적 단단한 재료의 금속이 이용되고 있습니다.

Gasket

Copper Gasket

OFCU (산소 프리 고전도) 구리는 두 개의 콘플레이트 플랜지 사이에서 UHV를 밀봉하기 위해 개스킷을 제조하는 데 사용됩니다. 순도는 99.97% 이상이고 경도는 60-80HV이며, 깨끗하고 형상이 용이하며, 온도 범위가 넓고, 가스 방출율이 낮습니다.