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Products

Plasma

VUV Source(BL-1200s)

SPECS

Product Overview


FERMI BL-1200s는 차동 챔버, 단색 챔버, 멀티 필터 컨버터 및 UHV 밸리 절연 포커싱 캐피럴리를 탑재한 특수 설계 고휘도 다중 가스 VUV 소스입니다. 다양한 기체 (He, Ne, Ar, Kr, Xe 등)로 작동할 수 있으며, 적은 광점출력과 가스압이 증가하지 않아야 하는 요건에 충족됩니다. 


Specification

 

● Retractable mechanism

● 75mm Linear Translator

● Alignment mechanism: ± 3° tilt mechanism

● Solid RF power supply and cable

● Compulsory air cooling and water cooling

● All-metal-sealed, UHV compatible

 

 

Gas Energy (eV) Wavelength(nm)
Photon current (nA)
Photons Photons/s
He 21.2 58.5 33.8 1.56e12
Ne 16.85 73.59 11 4.43e11
Ar 11.83 104.82 7.5 4.96e11
Kr 10.03 123.58 2.4 7.5e11
Xe 8.43 146.96 1.5 9.3e13

 


Test Report

VUV Light source1.jpg

 

 

 

 

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