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Products

Manipulator

6-axis Helium-free Cryogenic Manipulator

  • Fermi Instruments에서 제공하는 6축 Helium-free Cryogenic Manipulator는 시료 위치와 각도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
  • 6축은 샘플 스테이지가 X, Y, Z 방향으로 이동할 수 있음을 의미하며 극 회전 R1(Z 축을 중심으로), 플립 회전 R2(틸트) 및 평면 내 회전 R3(방위각)을 실현할 수 있습니다.
  • X/Y/Z/R1의 움직임은 XYZ-R1 스테이지에 의해 구현되고, R2 및 R3은 샘플 스테이지의 기어 전달 구조에 의해 구현됩니다.

SPECS

Highlights

● Low cost of ownership: Cooled by GM cryocooler
● Multi-axis: All axes are driven by step motors
● Convenient operation: Plug and play, can be run
● Temperature range : 6K - 325K
● Fast Cooling Rate:RT to 6K, < 4 hours
● Temperature stability: 10 mK with PID control
● Options available

 

Options

● Sample parking stage
● Secondary Low Temperature Sample Stage
● High Temperature Stage (E-beam optional)
● YAG Stage
● Sample Floating Module
● Low Temperature Cleavage Module
● Four-probe Transport Measurement Module

 

Mechanical Specifications

Polar rotation
360°(-180°,+ 180°)
Flip rotation
60°(-15°,+45°)
Azimuthal rotation
240°(-120°,+ 120°)
X/Y stroke
25mm(±12.5mm)
 Z stroke
Up to 650mm

Cooling Curves

6축 메니풀레이터1.jpg

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