Atom Scattering Spectroscopy

TOFLAS-3000

• 원자산란 표면분석장치(Atomic Spawning Surface Analysis Equipment)인 TOFLAS®-3000은 이온산란 분광법 (CAICISS)의 측정원리를 응용하여, 입사 프로브 (Probe)에 이온이 아닌 원자빔을 이용한 장치로서 금속, 반도체, 절연체 시료 표면 혹은 박막성장과정에서 바로 원소 분석과 구조해석이 동시에 가능합니다.