메뉴 바로가기
주메뉴 바로가기
컨텐츠 바로가기

Products

Atom Scattering Spectroscopy

TOFLAS-3000

  • 원자산란 표면분석장치(Atomic Spawning Surface Analysis Equipment)인 TOFLAS®-3000은 이온산란 분광법 (CAICISS)의 측정원리를 응용하여, 입사 프로브 (Probe)에 이온이 아닌 원자빔을 이용한 장치로서 금속, 반도체, 절연체 시료 표면 혹은 박막성장과정에서 바로 원소 분석과 구조해석이 동시에 가능합니다.

SPECS


○원자산란 스팩트럼의 시간변화                         대전(帶電)에 의한 스팩트럼의 시간변화 

sub2_Cont_img21.gif             sub2_Cont_img22.gif

 

 

 

 

 

○성장모드 평가                  ○극성판별                        ○자기장내 측정가능

sub2_Cont_img23.gifsub2_Cont_img24.gifsub2_Cont_img25.gif

DOWNLOAD

Catalog TOFLAS

DOWNLOAD