Manipulator

6-axis Helium-free Cryogenic Manipulator

Fermi Instruments에서 제공하는 6축 Helium-free Cryogenic Manipulator는 시료 위치와 각도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
6축은 샘플 스테이지가 X, Y, Z 방향으로 이동할 수 있음을 의미하며 극 회전 R1(Z 축을 중심으로), 플립 회전 R2(틸트) 및 평면 내 회전 R3(방위각)을 실현할 수 있습니다.
X/Y/Z/R1의 움직임은 XYZ-R1 스테이지에 의해 구현되고, R2 및 R3은 샘플 스테이지의 기어 전달 구조에 의해 구현됩니다.

Manipulator

5.5-axis Helium-free Cryogenic Manipulator

Fermi Instruments에서 제공하는 5.5축 Helium-free cryogenic Manipulator는 시료 위치와 각도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
5.5축은 샘플 스테이지를 X, Y, Z 방향으로 이동할 수 있음을 의미하며 극 회전 R1(Z 축을 중심으로), 플립 회전 R2(틸트) 및 평면 내 회전 R3(방위각)을 실현할 수 있습니다.

Manipulator

4-axis Helium-free Cryogenic Manipulator

Fermi Instruments에서 제공하는 4축 Helium-free Cryogenic Manipulator는 시료 위치와 각도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
4축은 샘플 스테이지가 X, Y, Z 방향으로 이동할 수 있음을 의미하며 극 회전 R1(Z축을 중심으로)을 실현할 수 있습니다.

Plasma

VUV Source(BL-1200s)

FERMI BL-1200s는 차동 챔버, 단색 챔버, 멀티 필터 컨버터 및 UHV 밸리 절연 포커싱 캐피럴리를 탑재한 특수 설계 고휘도 다중 가스 VUV 소스입니다. 다양한 기체 (He, Ne, Ar, Kr, Xe 등)로 작동할 수 있으며, 적은 광점출력과 가스압이 증가하지 않아야 하는 요건에 충족됩니다.