PLD System
PLD / Laser-MBE System Lines
SPECS
○Feature
* 작동이 용이한 콤팩트 디자인
* 적외선 램프 가열 방식 (옵션 : SiC 히팅 가능)
* Transfer Rod에 의한 기판 및 타겟의 교환 용이
* 연속 회전이 가능한 자기결합(Magnetic coupled) 타겟 회전
* 다양한 구송요소를 장착하기 위한 보조 포트
2. Mobile Combi-Laser MBE System
○ Feature