반도체를 제조하는 여러 공정 중 에서도 웨이퍼에(Wafer：집적회로의 기판이 되는 반도체 박판) 붕소·비소·안티몬·인 등과 같은 불순물의 이온을 

주입하여 반도체 소자(素子)를 제작하는 이온주입공정(Ion-implantation)에 사용 되어지며, 이온주입공정은 불순물을 이온 상태로 만들고, 이것을

수십~수백keV의 고전압으로 가속하여 이온 빔으로 만들어 목표 웨이퍼에 주입시킨다

주입시킨 후 고온처리를 하면 이 불순물이 결정격자 내에 들어가 불순물 반도체를 형성한다. ION SOURCE에서 추출한 이온 Beam을 원하는 

Energy로 가속 하기 위해 RF 신호를 이용한 가속장치가 Resonator (Cavity)이다.

RESONATOR Repair 기술이란?

모션하이테크는 Implant 공정 진행 시 성능 저하 및 Fail 되는 문제에 대하여 모션 독자적 기술과 노하우를 기반으로 완벽한 사전 검수, 

Overhaul, Impedance Matching 등의 모든 Repair Service를 고객에게 제공하고 있습니다.

* 주요 고객 - 삼성전자, SK 하이닉스 등

RESONATOR Repair Process

RESONATOR Repair Model (Axcelis High Energy 설비 전체)