안녕하십니까, 울산과학기술원 우경석 교수님 연구실 오원재입니다.

모션하이테크에서 Toshima사로부터 IGZO를 견적받은 기록이 있어 문의드립니다.

과거 서울대에서 견적받은대로 Toshima사의 IGZO 스퍼터링 타겟을 견적받고 싶습니다.

추가적으로 산화물이기때문에 Cu BP bonding이 필요한지도 문의드립니다.

저희 연구실의 스퍼터링 장비를 제작하는 레이벡사에서 타겟 관련 문의 답변은 다음과 같습니다.

안녕하세요. 

㈜레이벡 민경대 이사입니다.

스퍼터링 타겟의 경우 금속, 산화물 모두 너무 두꺼우면 방전 압력이 올라가기 때문에

두께는 1/8인치를 권장해 드리고 있습니다. 이 정도 두께만 해도 상당히 오랜기간 사용할 수 있습니다.

3인치 스퍼터건이기 때문에 직경은 3인치로 하시면 되고요..

산화물의 경우 3mm copper backing plate에 metallic bonding 해서 전체 두께를 1/4”에 맞추면 됩니다.

순도는 높을수록 좋으나 가격이 비싸면 합리적인 수준에서 구매하세요.

감사합니다.

민경대 드림.

따라서 규격은 diameter : 3" , Thickness: 1/8", Cu bonding 필요시

3mm copper backing plate에 metallic bonding 해서 전체 두께를 1/4” 

이러한 규격을 원합니다.

감사합니다.

Won Jae Oh

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