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Sputtering Target & Powder

스핀코팅 등, 도포 공정에 의한 박막 제작용 MOD코팅 재료를 폭넓게 갖추고 제공하고 있습니다.
고객의 요구에 따라 조성이나 농도 등을 커스터마이즈한 액체조제 또한 유연하게 대응하고 있습니다.
성막이 어려운 실험적인 재료 제작에도 도전하고 있습니다.
Sputtering Target, PLD Target & Powder
* Oxide semiconductors and conductive oxides
InGaZnO4
ZnO
In2O3
SnO2
NiO
TiO2
LaNiO3
RuO2
* Ferroelectrics
Pb(Zr, Ti)O3 [PZT]
SrBi2Ta2O9 [SBT]
BiFeO3 [BFO]
KTaO3
KNbO3
(Ba, Sr)TiO3 [BST]
BaTiO3
LiNbO3
* Ferroelectrics
(La, Str)MnO3 [LSM]
(La, Sr)CoO3 [LSC]
(Pr, Ca)MnO3 [PCMO]
LiLaZrOx
SrTiO3
Sputtering Target, PLD Target & Powder