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Gas Powder Trap

TRAP INTRO

모션하이테크의 Gas Powder Trap은 반도체 및 디스플레이 핵심 공정에서 발생되는 Gas 반응 생성물을 포집하는 장치입니다.
Trap 핵심기술은 Magnet Fiber(이온교환섬유) 특허 기술을 이용하여 0.1um 까지 포집 하는 Classic Type 입니다. Pump 압력 손실을 최소화 하면서, 미세한 파우더를 대량으로 포집 가능하여, 생산라인에서 Powder로 인한 문제를 Clear 하고, 설비의 수선비용을 절감시키며, 특히 환경안전 사고 예방에 탁월한 성능이 검증된 제품 입니다.

주요 설치 위치는 Dry-Pump 전단(진공 측)과 후단(배기 측)에 모두 설치가 가능하며, 각 프로세스 특성에 따라 Powder 발생량과 설치 공간에 맞는 다양한 모델이 있으며, 제품의 구조는 크게 성형타입, 코일타입, 콤비타입이 있습니다.

MAGNET FIBER (이온교환섬유)

플러스(+) 또는 마이너스(-)로 이온화한 이온교환섬유에 Gas 반응 생성물인 Powder가 흡착되는 기술입니다.

* 주요 고객 - 삼성전자, SK 하이닉스. 삼성디스플레이, LG Solar, TCK 등

주요 MODEL
TYPE MODEL 용량(ℓ) SIZE UTILITY
성형 TU-220/250V 4 Φ210×H295 -
TU-500V 7 Φ300×H270 -
TU-45R 36 Φ356×H509 -
COIL TU-65LMJ 70 Φ400×H1013 PCW 선택
TU-85LMJ 86 Φ440×H1064 PCW 선택
TU-95LMJ 115 Φ485×H1064 PCW 선택
TU-105LMJ 171 Φ535×H1264 PCW 선택
COMBI TU-1500J 32 Φ370×H707 PCW 선택
TU-3100J 70 Φ400×H1013 PCW 선택
TU-4100J 86 Φ440×H1064 PCW 선택
TU-5100J 115 Φ485×H1064 PCW 선택
TRAP 구조